山东芯诺电子科技股份有限公司清洁生产审核信息公示
山东芯诺电子科技股份有限公司清洁生产审核信息公示
为切实改善公司的生产运营情况，提升公司经济效益，减少污染物排放，同时结合公司的发展需要，我公司自2023年4月开始全面启动清洁生产审核工作，并委托山东君致环保科技有限公司对审核工作进行技术方法指导。
根据《中华人民共和国清洁生产促进法》、《清洁生产审核办法》的要求，现向公众公示我公司审核前企业基本情况和产污排污状况，请社会各界对我公司实施清洁生产审核的情况进行监督。
一、企业基本情况
1.企业名称：山东芯诺电子科技股份有限公司
2.法人代表：陈钢全
3.企业地址：山东省济宁市兖州区经济开发区永安路路北
4.企业生产规模：项目设计年产300万片半导体功率器件芯片生产线项目，项目一期产能规模为年产100万片半导体功率器件芯片产能规模（GPP芯片86万件/年、晶闸管芯片14万件/年）；
6.主要污染物：
废气：二甲苯、乙酸丁酯、VOCs、三氯乙烯、甲醇、异丙醇、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、乙酸、氯化氢、氨
废水：生活污水、生产废水；
一般固废：废金刚砂、不合格品、废RO膜、镀金吸附树脂、含氟污泥、背金挂架和生活垃圾；危险废物：废显影液、废光刻胶、废定影液、废清洗溶剂、废活性炭、含镍污泥、废包装桶、废化学品包装袋；
主要环保设施：废气收集+碱式喷淋系统（4套）；废气收集+二级活性炭收集系统（3套）；沉积设备自带燃烧室燃烧；吹砂粉尘经设备自带除尘器处理
二、有毒有害原料使用情况
|
序号 |
名称 |
单位 |
环评年用量 |
一期产量年用量 |
|
一、GPP芯片 |
|
|||
|
1 |
28%氨水 |
L |
115 |
38 |
|
2 |
显影液 |
L |
1000 |
333 |
|
3 |
光刻胶 |
L |
3086 |
1029 |
|
4 |
冰乙酸 |
L |
827 |
276 |
|
5 |
98%硫酸 |
L |
8372 |
2791 |
|
6 |
37%盐酸 |
L |
115 |
38 |
|
7 |
49%氢氟酸 |
L |
825 |
275 |
|
8 |
65%硝酸 |
L |
5752 |
1917 |
|
9 |
氯化镍 |
kg |
596.4 |
199 |
|
二、晶闸管芯片 |
||||
|
1 |
显影液 |
L |
528 |
176 |
|
2 |
定影液 |
L |
528 |
176 |
|
3 |
光刻胶 |
L |
3042 |
1014 |
|
4 |
甲醇 |
L |
52 |
17 |
|
5 |
65%硝酸 |
L |
1837 |
612 |
|
6 |
85%磷酸 |
L |
449 |
150 |
|
7 |
49%氢氟酸 |
L |
317 |
106 |
|
8 |
30%双氧水 |
L |
964 |
321 |
|
9 |
98%硫酸 |
L |
169 |
56 |
|
10 |
28%氨水 |
L |
330 |
110 |
|
11 |
37%盐酸 |
L |
515 |
172 |
|
12 |
冰乙酸 |
L |
172 |
57 |
三、有毒有害物质排放情况
|
类别 |
污染源 |
产生工序 |
主要污染物 |
收集方式 |
治理措施 |
|
废气 |
GPP芯片 |
酸洗、涂硼前清洗 |
硝酸雾（NOX）、氟化物、乙酸 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA002排气筒 |
|
密闭吹砂 |
颗粒物 |
密闭收集+管道 |
布袋除尘+DA008排气筒 |
||
|
硼扩散 |
乙二醇乙醚 |
密闭管道收集 |
活性炭吸附+DA007排气筒 |
||
|
铂扩 |
异丙醇 |
密闭管道收集 |
活性炭吸附+DA007排气筒 |
||
|
光刻（1~3） |
VOCs、二甲苯、乙酸丁酯 |
密闭收集+管道 |
活性炭吸附+DA001排气筒 |
||
|
开沟蚀刻 |
硝酸雾（NOX）、氟化物、乙酸、硫酸雾 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA003排气筒 |
||
|
去胶清洗 |
硫酸雾 |
集气罩收集 |
|||
|
RCA酸洗 |
硝酸雾（NOX）、氟化物、乙酸、硫酸雾、氯化氢 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA002排气筒 |
||
|
RCA碱洗 |
氨 |
集气罩收集 |
|||
|
BOE漂洗 |
氟化物、氨 |
集气罩收集 |
|||
|
18:1:1混酸清洗 |
硝酸雾（NOX）、氟化物、乙酸、硫酸雾 |
集气罩收集 |
|||
|
SIPOS沉积、LTO沉积 |
颗粒物（二氧化硅） |
管道收集 |
配备燃烧室+DA008排气筒 |
||
|
异丙醇清洗 |
异丙醇 |
集气罩收集 |
活性炭吸附+DA005排气筒 |
||
|
晶闸管 |
清洗（1~6） |
氨、氯化氢、硝酸雾（NOX）、HF、乙酸 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA004排气筒 |
|
|
隔离扩散、基区扩散、浓硼扩散 |
乙二醇甲醚 |
管道收集 |
活性炭吸附+DA007排气筒 |
||
|
开沟刻蚀(1-4、硫酸去胶) |
氟化物、硫酸雾 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA006排气筒 |
||
|
台腐 |
氟化物、硝酸雾（NOX）、乙酸 |
集气罩收集 |
|||
|
SIPOS腐蚀 |
氟化物、硝酸雾（NOX）、乙酸 |
集气罩收集 |
|||
|
铝腐蚀(含硝酸去胶) |
磷酸雾、硝酸雾（NOX） |
集气罩收集 |
|||
|
光刻（1~7） |
VOCs、二甲苯、乙酸丁酯 |
密闭收集+管道 |
活性炭吸附+DA005排气筒 |
||
|
SIPOS沉积、LTO沉积 |
颗粒物（二氧化硅） |
密闭管道收集 |
配备燃烧室+DA008排气筒 |
||
|
蒸铝前处理 |
三氯乙烯、甲醇 |
集气罩收集 |
活性炭吸附+DA005排气筒 |
||
|
氟化物 |
集气罩收集 |
碱喷淋塔+DA004排气筒 |
|||
|
背金 |
三氯乙烯、甲醇 |
集气罩收集 |
活性炭吸附+DA005排气筒 |
||
|
废水 |
含镍废水 |
镀镍 |
氯化物、总镍 |
排入厂区镀镍废水处理站 |
|
|
含金废水 |
镀金 |
氯化物、总金 |
独立收集，委托厂家回收处置 |
||
|
酸碱废水 |
酸洗、碱洗、清洗、水洗、台腐、SIPOS腐蚀、铝腐蚀、开沟刻蚀 |
pH、COD、SS、氨氮、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、LAS、全盐量等 |
排入厂区污水处理站处理 |
||
|
纯水制备废水 |
纯水制备 |
COD、全盐量 |
|||
|
喷淋废水 |
喷淋系统产生的废水 |
pH、COD、SS、NH3-N、氨氮、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、全盐量 |
|||
|
生活污水 |
职工生活 |
COD、SS、NH3-N |
经化粪池预处理后排入市政管网 |
||
|
固废 |
生活垃圾 |
职工生活 |
/ |
环卫部门定期清运 |
|
|
废金刚砂 |
密闭吹砂 |
金刚砂 |
收集后外售 |
||
|
不合格品 |
产品检验 |
不合格品 |
收集后外售 |
||
|
废RO膜 |
纯水制备 |
树脂 |
环卫部门定期清运 |
||
|
背金挂架 |
背金 |
不锈钢 |
收集后外售 |
||
|
镀金吸附树脂 |
镀金 |
树脂 |
厂家回收 |
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|
含氟污泥 |
废水处理 |
氟化钙等 |
收集后外售 |
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废显影液、废光刻胶 |
光刻 |
脂肪族烃类二甲苯、等 |
委托有资质的单位处置 |
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|
废定影液 |
光刻 |
石油醚 |
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|
废清洗溶剂 |
溶剂清洗 |
异丙醇、三氯乙烯、甲醇 |
|||
|
废活性炭 |
有机废气处理 |
废活性炭、有机物 |
|||
|
废包装桶、废化学品包装袋 |
化学品包装 |
废包装桶、废化学品包装袋 |
|||
|
含镍污泥 |
污水处理 |
污泥、重金属 |
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我公司已编制了《突发环境事件应急预案》，并于2022年12月23日在济宁市生态环境局兖州区分局备案（备案号：370812-2022-0083-L）。企业于2022年6月取得项目固定污染源排污登记表，登记编号：913708005599378 14L003Y。
四、联系人及联系方式
审核企业：山东芯诺电子科技股份有限公司
联系人：何经理
联系电话：0537-3237911
咨询单位：山东君致环保科技有限公司
联系人：周工
联系电话：0537-2287666
